Lithography Process Control - Tutorial Texts - Harry J. Levinson - Kirjat - SPIE Press - 9780819430526 - maanantai 1. helmikuuta 1999
Mikäli Kansi ja otsikko eivät täsmää, on otsikko oikein

Lithography Process Control - Tutorial Texts


Vastaanota sähköposti kun titteli on saatavilla
Onko sinulla profiili? Kirjaudu sisään
Lisää iMusic-toivelistallesi
tai

This text is intended to be a self-contained tutorial on lithography process control. It works as an introduction to those entering the field, and as a reference for the experienced lithography engineer. Topics covered include linewidth control, overlay, and yield.


194 pages, Illustrations, 1 port.

Media Kirjat     Paperback Book   (Kirja pehmeillä kansilla ja liimatulla selällä)
Julkaisupäivämäärä maanantai 1. helmikuuta 1999
ISBN13 9780819430526
Tuottaja SPIE Press
Sivujen määrä 194
Mitta 150 × 220 × 10 mm   ·   444 g

Mere med samme udgiver