Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films - Progress in Numerical Simulation for Microelectronics - Chris R. Kleijn - Kirjat - Springer Basel - 9783034877435 - keskiviikko 20. marraskuuta 2013
Mikäli Kansi ja otsikko eivät täsmää, on otsikko oikein

Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films - Progress in Numerical Simulation for Microelectronics Softcover reprint of the original 1st ed. 1993 edition

Chris R. Kleijn

Hinta
Ft 17.576

Tilattu etävarastosta

Arvioitu toimitus ti - to 22. - 31. heinä
Lisää iMusic-toivelistallesi
Eller

Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films - Progress in Numerical Simulation for Microelectronics Softcover reprint of the original 1st ed. 1993 edition

Semiconductor equipment modeling has in recent years become a field of great interest, because it offers the potential to support development and optimization of manufacturing equipment and hence reduce the cost and improve the quality of the reactors.


140 pages, black & white illustrations

Media Kirjat     Paperback Book   (Kirja pehmeillä kansilla ja liimatulla selällä)
Julkaisupäivämäärä keskiviikko 20. marraskuuta 2013
ISBN13 9783034877435
Tuottaja Springer Basel
Sivujen määrä 139
Mitta 152 × 229 × 7 mm   ·   195 g
Kieli German