Vinkkaa tuotetta kavereillesi:
Rapid Thermal Processing: Science and Technology Fair
Onko sinulla profiili? Kirjaudu sisään
Saat ilmoituksen artistin Fair uusista julkaisuista
Lisää iMusic-toivelistallesi
tai
Rapid Thermal Processing: Science and Technology
Fair
Discusses rapid thermal processing (RTP), an essential manufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. The text provides information on the suitability of RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy and "in situ" processing.
430 pages
| Media | Kirjat Hardcover Book (Sidottu kirja kovilla kansilla sekä suojakannella) |
| Julkaisupäivämäärä | torstai 15. huhtikuuta 1993 |
| ISBN13 | 9780122476907 |
| Tuottaja | Elsevier Science Publishing Co Inc |
| Sivujen määrä | 430 |
| Mitta | 152 × 229 × 25 mm · 725 g |
| Toimittaja | Fair, Richard B. |