Rapid Thermal Processing: Science and Technology - Fair - Kirjat - Elsevier Science Publishing Co Inc - 9780122476907 - torstai 15. huhtikuuta 1993
Mikäli Kansi ja otsikko eivät täsmää, on otsikko oikein

Rapid Thermal Processing: Science and Technology


Vastaanota sähköposti kun titteli on saatavilla
Onko sinulla profiili? Kirjaudu sisään
Saat ilmoituksen artistin Fair uusista julkaisuista
Lisää iMusic-toivelistallesi
tai

Ei vielä arvioitu

Discusses rapid thermal processing (RTP), an essential manufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. The text provides information on the suitability of RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy and "in situ" processing.


430 pages

Media Kirjat     Hardcover Book   (Sidottu kirja kovilla kansilla sekä suojakannella)
Julkaisupäivämäärä torstai 15. huhtikuuta 1993
ISBN13 9780122476907
Tuottaja Elsevier Science Publishing Co Inc
Sivujen määrä 430
Mitta 152 × 229 × 25 mm   ·   725 g
Toimittaja Fair, Richard B.

Lisää tuotteita Fair

Näytä kaikki

Lisää samalta julkaisijalta