Dry Etching for VLSI - Updates in Applied Physics and Electrical Technology - A.j. Van Roosmalen - Kirjat - Springer-Verlag New York Inc. - 9781489925688 - keskiviikko 29. toukokuuta 2013
Mikäli Kansi ja otsikko eivät täsmää, on otsikko oikein

Dry Etching for VLSI - Updates in Applied Physics and Electrical Technology Softcover reprint of the original 1st ed. 1991 edition

A.j. Van Roosmalen

Hinta
$ 203,49

Tilattu etävarastosta

Arvioitu toimitus ma - ke 9. - 18. kesä
Lisää iMusic-toivelistallesi
Eller

Löytyy myös muodossa:

Dry Etching for VLSI - Updates in Applied Physics and Electrical Technology Softcover reprint of the original 1st ed. 1991 edition

This book has been written as part of a series of scientific books being published by Plenum Press. This book is unique in that it gives a compact, yet complete, in-depth overview of fundamentals, systems, processes, tools, and applications of etching with gas plasmas for VLSI.


256 pages, black & white illustrations

Media Kirjat     Paperback Book   (Kirja pehmeillä kansilla ja liimatulla selällä)
Julkaisupäivämäärä keskiviikko 29. toukokuuta 2013
ISBN13 9781489925688
Tuottaja Springer-Verlag New York Inc.
Sivujen määrä 237
Mitta 178 × 254 × 13 mm   ·   449 g