Vinkkaa tuotetta kavereillesi:
Atomic Layer Deposition for Semiconductors Softcover reprint of the original 1st ed. 2014 edition
Hinta
€ 202,49
Tilattu etävarastosta
Arvioitu toimitus ke 12. - 26. elo
Lisää iMusic-toivelistallesi
tai
Atomic Layer Deposition for Semiconductors
This edited volume discusses atomic layer deposition (ALD) for all modern semiconductor devices, moving from the basic chemistry of ALD and modeling of ALD processes to sections on ALD for memories, logic devices, and machines. The section on ALD for logic devices covers both front-end of the line processes and back-end of the line processes.
273 pages, 89 black & white illustrations, 81 colour illustrations, 3 black & white tables, 1 colour
| Media | Kirjat Paperback Book (Kirja pehmeillä kansilla ja liimatulla selällä) |
| Julkaisupäivämäärä | tiistai 23. elokuuta 2016 |
| ISBN13 | 9781489979438 |
| Tuottaja | Springer-Verlag New York Inc. |
| Sivujen määrä | 263 |
| Mitta | 234 × 155 × 18 mm · 482 g |
| Kieli | Englanti |
| Toimittaja | Hwang, Cheol Seong |