Atomic Layer Deposition for Semiconductors -  - Kirjat - Springer-Verlag New York Inc. - 9781489979438 - tiistai 23. elokuuta 2016
Mikäli Kansi ja otsikko eivät täsmää, on otsikko oikein

Atomic Layer Deposition for Semiconductors Softcover reprint of the original 1st ed. 2014 edition

Hinta
€ 202,49

Tilattu etävarastosta

Arvioitu toimitus ke 12. - 26. elo
Lisää iMusic-toivelistallesi
tai

Ei vielä arvioitu

This edited volume discusses atomic layer deposition (ALD) for all modern semiconductor devices, moving from the basic chemistry of ALD and modeling of ALD processes to sections on ALD for memories, logic devices, and machines. The section on ALD for logic devices covers both front-end of the line processes and back-end of the line processes.


273 pages, 89 black & white illustrations, 81 colour illustrations, 3 black & white tables, 1 colour

Media Kirjat     Paperback Book   (Kirja pehmeillä kansilla ja liimatulla selällä)
Julkaisupäivämäärä tiistai 23. elokuuta 2016
ISBN13 9781489979438
Tuottaja Springer-Verlag New York Inc.
Sivujen määrä 263
Mitta 234 × 155 × 18 mm   ·   482 g
Kieli Englanti  
Toimittaja Hwang, Cheol Seong

Lisää samalta julkaisijalta